ASML获重大打破 EUV微影年代行将到来

OFweek电子工程网讯 微影设备大厂ASML宣告该公司现已到达了最首要且长时刻难以打破的里程碑:250瓦EUV光源。

虽然所花的时刻与成本简直比所有人预期得要多,半导体工业总算仍是快要盼到极紫外光(extreme ultraviolet,EUV)微影技能的大量出产──在近来于美国旧金山举办的2017年度Semicon West半导体设备展,微影设备大厂ASML宣告该公司现已到达了最首要且长时刻难以打破的里程碑:250瓦(watt)的EUV光源。

光源功率(source power)──也即是传送到扫描机以完成晶圆曝光的EUV光子(photon)数量之量测值──直接等同于出产力,芯片制造商一直以来都坚持250瓦的光源功率是到达每小时125片晶圆(WPH)出产值的必要条件,并且将ASML与光源技能供货商Cymer (已在2013年被ASML收买)未能完成该光源功率方针,视为EUV微影在这些年开展不顺的首要原因。

在Semicon West时期,ASML行销战略总监Michael Lercel则表明,该公司现已完成了250瓦光源,并且不但是:“透过真实了解光源的变换功率到达了一致性,也完成了准确的操控;”不过他弥补指出,经证明的250瓦光源还没正式出货。

包含英特尔(Intel)、三星(Samsung)、台积电(TSMC)与Globalfoundries等顶尖芯片制造商,都打算在接下来两年将EUV微影导入量产制程,ASML在本年2月展现了104WPH的出产值,该公司高层并宣称,甚至在250瓦光源完成之前,该公司的微影设备可到达125WPH的产值。

与2012年约25瓦的光源相较,250瓦光源意味着十倍的前进;Lercel在简报EUV出产经济学时笑言,当他在几年前仍任职于Cymert时,到达250瓦光源功率:“永远都是下一年的方针。”他表明,ASML现在在EUV范畴有14种开发东西,已曝光超越100万片晶圆,光是曩昔一年就曝光了50万片;ASML的NXE:3400B量产型EUV微影设备已在本年稍早首度出货。

到4月份,ASML积压了21台EUV体系等候出货,听说其中有大多数是英特尔的订单;而ASML应当会在第二季财报发布时供给未出货订单的更新数字。

EUV技能可追溯至1970年代X光微影开发进程不顺的那时候,而半导体工业本来希望能在2010年就开端使用EUV微影量产,但该技能再三推延;有人估量,工业界对EUV技能的开发现已耗费了超越200亿美元。

而虽然ASML有所发展,批评者仍会持续对EUV抱持质疑情绪;如长时刻调查半导体工业的商场研究机构VLSI Research总裁暨分析师G. Dan Hutcheson就表明:“总有人一直说该技能不可能成功;的确花了很长的时刻,但咱们毕竟仍是走到了某个当地。”

除了宣告到达光源功率里程碑,Lercel也胪陈了EUV东西叠对(overlay)功能的大幅改进,以及工业界在布建EUV基础建设方面的发展,包含光罩(reticle)、光罩护膜(pellicle)以及光阻剂(photoresist);此外他的简报首要聚集于EUV能为客户带来的“经济价值”,考量到该类东西的成本──EUV微影设备一套要价超越1亿美元──听起来是个吊诡的议题。

高成本是EUV微影技能最被诟病的特性之一,但ASML表明,EUV──在到达125WPH的产值方针时──与选用传统滋润式微影东西进行三重或四重图形(patterning)的昂扬成本相较,能带来更高的经济优势。

Lercel表明:“假如你看选用多重滋润式微影过程的成本,加上调配的制程过程──包含清洗以及衡量──咱们信任EUV的每层光罩成本仍是低于三重图形滋润式微影,并且肯定低于四重以上图形的成本;”他并指出,EUV也能供给更迅速周期时刻(cycle times)、变异性更少以及晶圆片呈现随机缺点机率更低一级经济优势。

“咱们信任EUV是在将来完成成本可担负之微影制程微缩、十分具成本效益的技能;”Lercel表明:“咱们现已在EUV体系功能方面有大幅发展,能满意业界等待。特别是有鉴于其成像体现如预期、叠对功能最少能与滋润式技能比美,以及其出产值现已能超越每小时100片晶圆;这些让咱们到达了现在现已能连续将援助大量出产的设备送交客户。”

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时间: 2020年07月13日 10:02 | 来源: Oo吻舞双全oO | 编辑: 邹阳伯 | 阅读: 0052 次

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啥是三伏?

伏可称;长夏,伏是中国古代五行家对时节的特殊组织,其中伏为土。伏表明阴气受阳气所迫藏伏在地下的意思。

春、夏、秋、冬四季被五行家冠以木、火、金、水,一年五季春、夏、长夏、秋、冬,由秋到冬金生水、水生木、木生火,天然循环。由夏到秋则否则,火克金,金不敢出来。就要埋伏一段时间,埋伏即是伏的转义。

三伏指的即是初伏、中伏和末伏三个接连时段。

2017年三伏地利间表

初伏:2017年7月12日~2017年7月21日

中伏:2017年7月22日~2017年8月10日

末伏:2017年8月11日~2017年8月20日

2017年从7月12日入伏(夏至三庚入伏),中伏从7月22日开端,8月10日完毕,中伏20天,三伏天合计40天,8月21日出伏。

啥是庚日呢?

中国古代盛行干支纪日法,用10个天干与12个地支般配而成的60组不一样的称号来记日子,循环运用。每当有庚字的日子叫庚日。庚日的庚字五行属金,是甲、乙、丙、丁、戊、己、庚、辛、壬、癸10个天干中的第7个字,庚日每10天重复一次。

传统的核算伏天的办法是从夏至开端,按照干、支纪日的摆放,第三个庚日为初伏。第四个庚日为中伏,立秋后第一个庚日为末伏。

夏练三伏,以热逼寒,加上辟谷的操练,能够迅速提高纯阳正气,强逼体内湿寒之气排出体外,抵达疏通气脉,修正全部由湿寒致使的经络阻塞致使的风湿关节痛苦!

三伏天是全年中气候最热,气温最高,阳气最盛的时期,此刻人体为了适应地利处于"阳盛于外而虚于内"的地步,汗液增多,暑气逼人,常常致使人体阳气宣发过分,而呈现体内阳气缺乏,此刻假如过度贪凉易致内寒过甚,以至于体内阳气更衰。

庚日又与肺金有关,庚日为金,属大肠,大肠与肺相表里。恰是和煦肺经阳气,遣散内伏寒邪的最好机遇。《黄帝内经》又曰:使气得泄,若所爱在外。所以尽量少吃冷饮,少吹空调,少吃寒性食物,经过辟谷摄生来抵达添加体内纯阳正气,促进阴寒之气排出体外。

夏天吃冷饮不光消不了暑气,反而会伤了脾胃。关于不会辟谷的人,能够挑选喝茶,茶,是解暑的最好饮品。一杯热茶喝下去虽会出一些汗,但随之而来的是一阵阵的清凉。所以,要想使体内的寒气排出,应该在伏天多喝热茶,热水,这么就能够把积累在体内多少年的寒气逼出来。

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在许多人的观念中 ,防潮和防水是能够划等号的。实际上,这种观念也是不精确的。防潮效果是在板材基材中混入防潮剂,防潮剂是无色的。厂家为了使之与一般板材相差异,在板材中参加绿色或许赤色的色彩(绿色居多,赤色的更高档一些)作为辨认象征。而防潮剂对于板材自身的防水功能并没有任何影响。实践证明,有防潮剂的板和没有防潮剂的板浸泡在水中,膨胀率是一样的,所谓防潮仅仅对空气中的潮气有效果。在国外很少用防潮剂由于他们更重视外表处理和封边的严密性。在这里宝源板材提醒您,不要盲目迷信防潮板功能,参加过多反而会影响人造板的强度。

(邹阳伯编辑《Oo吻舞双全oO》2020年07月13日 10:02 )

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